東方金榮兆聲清洗振板可方便地裝配到清洗槽上進行槽式兆聲清洗。槽式兆聲清洗與傳統(tǒng)超聲波清洗相似,一般將兆聲發(fā)射裝置置于水槽底部,清洗時晶圓放置在水槽中。該種方式的優(yōu)點是使用方便,可對產(chǎn)品進行批量清洗,故此又被稱為“批量式”兆聲清洗。目前對晶圓的批量清洗、化學機械拋光、刻蝕、顯影等濕法處理多采用槽式兆聲清洗裝置。東方金榮通過特殊的耦合技術(shù)將壓電換能器與石英或藍寶石振蕩層精確的匹配結(jié)合,可高效地向清洗槽中發(fā)射均勻的兆聲聲場。
兆聲清洗是利用兆赫茲級別的超高頻超聲波能量去進行基材表面亞微米級顆粒的去除以及化學反應。相比于低頻超聲波空化效應,兆聲波空化效應可清楚更小的顆粒并且大幅降低對基材的損傷。東方金榮提供多種類型的兆聲清洗系統(tǒng)以用于CMP化學機械拋光、鍵合前清洗、掩膜清洗、顯影、去膠、金屬剝離、濕法刻蝕等多種領(lǐng)域。
Siansonic(東方金榮)槽式兆聲清洗振板的特點及優(yōu)勢
可直接安裝到兆聲清洗槽底部的兆聲振板,方便二次開發(fā)
兆聲發(fā)射聲場分布均勻,提高清洗均勻度
極低的超聲空化效應,不會對器件表面造成損傷
大功率兆聲波換能器,振板表面聲強可達5W/cm2以上
石英或藍寶石匹配層技術(shù),無雜質(zhì)脫落到器件上的風險
可全面非金屬高防腐材質(zhì),適應各種酸堿及有機溶劑
獨特的換能器貼合技術(shù),更高的穩(wěn)定性和耐久性
第三代半導體技術(shù)的兆聲發(fā)生器,全面實現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動
振板材質(zhì):316L不銹鋼、石英、藍寶石
振板面積:可定制
可定制兆聲清洗槽
CMP化學機械拋光
鍵合前清洗
掩膜清洗
顯影
去膠
Lift-off金屬剝離
濕法刻蝕
鏡頭清洗
顯示屏等微電子行業(yè)精密清洗